博纯（泉州）半导体材料有限公司：

你公司报送的由福建省石油化学工业设计院有限公司编制的《博纯（泉州）半导体材料有限公司年产3300吨电子材料项目（一期）环境影响报告书（报批本）》（以下简称《报告书》）收悉。经组织专家评审并征求365防伪查询系统_bet3365标准版_365bet大陆网站惠安生态环境局意见，现批复如下：

一、项目位于365防伪查询系统_bet3365标准版_365bet大陆网站惠安县泉惠石化园区内，主营电子专用材料的生产和研发。公司拟在泉惠石化园区建设年产3300吨电子材料项目，分二期建设，一期合计年产电子材料900吨，二期合计年产电子材料2400吨。本次评价仅为一期项目，总投资24274万元。

一期拟建设：乙硼烷、羰基硫、氘气、氟气生产及磷烷、三氟化硼、锗烷、氖气、丙烯、氪气、氙气、BTBAS、一氧化碳、六氟丁二烯、砷烷、一氟甲烷、正磷酸的提纯、分装及混配等共17种产品，主体工程配套建设相应的公用工程、辅助工程、储运工程和环保工程。项目装置规模、产品方案、生产工艺设备、具体建设内容等以《报告书》核定为准。

根据《报告书》评价结论、专家评审结论及365防伪查询系统_bet3365标准版_365bet大陆网站惠安生态环境局意见（惠环保〔2022〕95号），项目符合产业政策和365防伪查询系统_bet3365标准版_365bet大陆网站“三线一单”生态环境分区管控要求，基本符合《福建省湄洲湾（泉港、泉惠）石化基地总体发展规划（2020-2030）》和规划环评及审查意见的要求；项目建设和生产在全面落实《报告书》及批复提出的各项污染防治措施和环境风险防范措施后，污染物可达标排放，环境风险可防可控。经综合考虑，我局同意该项目《报告书》中所列建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺以及拟采取的环境保护措施。

二、项目实施过程中，你公司应认真对照并落实《报告书》提出的各项污染防治措施和环境风险防范措施，并重点做好以下工作：

（一）应按照清洁生产要求，采用国内外先进的装置设备和生产工艺，提高资源利用率，降低能耗物耗；选用工艺成熟、可靠的污染治理技术和设施，减少各种污染物的产生量和排放量。项目清洁生产应达到同行业国内先进水平，力争达到国际先进水平。

（二）生态环境保护措施

1.大气污染防治。落实《报告书》提出的各项废气污染治理及无组织排放控制措施，污染物处理效率及排气筒高度应达到《报告书》提出的要求，确保项目大气污染物长期稳定达标排放。

乙硼烷、羰基硫生产废气分别通过一套二级碱液洗涤塔处理达标后通过25m高排气筒外排；氟气混合气、三氟化硼生产废气共用一套二级碱液洗涤塔处理达标后通过25m高排气筒外排；一氟甲烷、六氟丁二烯生产废气共用一套二级碱液洗涤塔处理达标后通过25m高排气筒外排。锗烷生产废气设置一套“电焚烧炉+布袋除尘”装置处理达标后通过25m高排气筒外排；丙烯、BTBAS、一氧化碳生产废气设置一套“电焚烧炉+布袋除尘”装置处理达标后通过25m高排气筒外排。项目磷烷、砷烷生产废气分别经过冷阱和氧化铜吸收后，并入活性吸附装置进行吸附后，通过25m高排气筒达标排放。钢瓶外表喷漆废气经喷淋旋流塔+两级活性炭吸附后通过25m高排气筒达标排放。项目危废间产生的废气经活性炭吸附后通过25m高排气筒达标排放。

应制定泄漏监测与修复计划，定期对项目的设备管阀件等动静密封点进行泄漏检测与修复。

2.水污染防治。严格按照“雨污分流、清污分流”原则，实现污水分类收集、分质处理，所有污水管线尽可能可视化。企业厂区内自建一座污水处理站，规模为50m³/d。本项目的生产废水（异丙醇吸收废水、羰基硫尾气装置废水）与生活污水进入调节池调节后经“化学反应池+初沉池+厌氧池+接触氧化池+二沉池”处理达标后，排入365防伪查询系统_bet3365标准版_365bet大陆网站惠安县泉惠石化园区污水处理厂处理。应配套建设初期雨水池及雨污切换系统，初期雨水经收集后分批排入厂区自建污水处理站处理。

废水排放口应设置在线监控装置并与生态环境部门联网，监测项目包括流量、COD、氨氮。

3.噪声污染防治。合理布局高噪声源，选用低噪声设备，采取有效的隔音、消声和减振等降噪措施，加强动力机械设备的管理和维护，最大程度降低噪声，确保厂界噪声达标。

4.固体废物污染防治。按照“减量化、无害化、资源化”原则，对固体废物进行分类收集、贮存、处理和处置，规范设置固体废物、危险废物临时储存场所，贮存能力、面积等应与产生量相匹配，确保不造成二次污染。规范建立固体废物管理台账，加强全过程规范化管理，危险废物应规范收集、贮存，委托有资质的单位就近进行无害化处置。严格按规定做好危险废物的转移工作，并强化危险废物运输过程的环境风险防范措施。

5.地下水及土壤污染防治。应对重点污染防治区、一般污染防治区等采取分区防渗措施，并加强防渗措施的日常维护。合理设置地下水及土壤跟踪监测点，并按监测要求开展监测，一旦发现监测指标明显高于本底值时，应及时采取有效措施，预防对地下水及土壤的污染影响。

6.应按国家、省、市有关规定规范设置排污口和标志牌。按照国家有关规定和监测规范，制定并严格落实监测计划，对排放的污染物和周边环境进行监测，并按《企事业单位环境信息公开办法》做好信息公开。对于锗烷、乙硼烷、三氟化硼排气筒出口的浓度检测，应采用与车间环境探测相同的GDS系统进行监控，每半年将实时记录监测数据报送属地生态环境主管部门备案。

7.环境风险防控措施。严格落实《报告书》中提出的各项环境风险防控措施，项目建设应同时符合国土规划、安全、消防、卫生等相关要求。落实好以下环境风险防控措施：

①项目应在车间三设置一套乙硼烷、三氟化硼事故状态下碱液喷淋应急处理装置；②在车间三设置一套磷烷、砷烷事故状态下负载催化剂的活性炭吸附处理装置；③在车间一设置一套氟气事故状态下碱液喷淋应急处理装置；④车间一一氧化碳事故时应依托一氧化碳废气处理系统进行处理；⑤剧毒品仓库一设置一套碱液喷淋系统与仓库三三氟化硼事故应急系统共用；⑥剧毒品仓库一设置一套负载催化剂的活性炭吸附处理装置；⑦剧毒品仓库二设置一套负载催化剂的活性炭吸附处理装置；⑧剧毒品仓库三设置一套碱液喷淋系统；⑨建立项目事故废水三级防控体系，配套建设一座有效容积不小于1600m³事故池，配备完善的事故废水导流设施，实现与园区公共事故应急池的互联互通，确保事故废水有效收集、处理；⑩装置等按规范设置有毒、可燃气体泄漏检测报警装置。生产车间对使用及生产乙硼烷、氟气、磷烷（磷化氢）、砷烷（砷化氢）、无水氢氟酸、氟气、氟气混合气、三氟化硼、三氟化硼混合氢气、磷烷（磷化氢）、砷烷（砷化氢）、砷烷混合氢气、一氧化碳、羰基硫等车间均应采用独立的生产车间并安装有毒有害气体报警仪，一旦物料泄漏及时探测并发出声光报警，提醒操作人员进行处理，并联锁启动轴流风机以排除易燃易爆气体。同时，做好与泉惠石化园区有毒有害气体预警体系的衔接。

按照突发环境事件应急预案等相关规定要求，做好与周边企业、石化园区、地方政府及其相关部门应急预案的衔接和联动。细化并落实项目环境风险影响范围内人员应急疏散方案，确保事故状态下实现周边影响范围内企业及敏感目标的人员紧急撤离。按相关规定完成项目突发环境事件应急预案制定及备案工作，严格落实备案后的应急预案，按规定开展必要的培训、宣传和演练，定期进行修订与完善。一旦发生环境风险事故，必须立即启动环境应急预案，有效防范环境风险，确保周边环境安全。

8.加强施工期环境管理，制定严格的规章制度，确保《报告书》提出的各项施工期环境保护措施落实到位，有效控制施工期间废水、废气、固废、噪声等产生的不良环境影响。

（三）污染物排放标准

1.大气污染物排放执行标准。

①锗烷废气执行《制定地方大气污染物排放标准的技术规范》（GB/T13201-91）计算值；②乙硼烷生产过程中的三氟化硼、乙硼烷执行《制定地方大气污染物排放标准的技术规范》（GB/T13201-91）计算值；非甲烷总烃执行《工业企业挥发性有机物排放标准》（DB35/1782-2018）表1限值；③三氟化硼混配气生产过程中的三氟化硼执行《制定地方大气污染物排放标准的技术规范》（GB/T13201-91）计算值；氟化物(以F计)执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）表4大气污染物特别排放限值；④磷烷、砷烷废气中磷化氢参照执行上海地标《大气污染物综合排放标准》DB31/993-2015；砷化物执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）表4大气污染物特别排放限值；⑤氟气混合气生产废气氟化物(以F计)执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）表4大气污染物特别排放限值；⑥羰基硫废气中颗粒物执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）表4大气污染物特别排放限值；二硫化碳执行《石油化学工业污染物排放标准》（GB 31571-2015）表4标准；⑦BTBAS提纯分装、一氧化碳分装废气非甲烷总烃执行《工业企业挥发性有机物排放标准》（DB35/1782-2018）表1标准；NO₂执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）表4大气污染物特别排放限值；一氧化碳参照执行上海地标《大气污染物综合排放标准》DB31/993-2015；⑧喷漆车间废气非甲烷总烃执行《工业涂装工序挥发性有机物排放标准》（DB35/1783-2018）表1标准限值；⑨危废间非甲烷总烃执行《工业企业挥发性有机物排放标准》（DB35/1782-2018）表1其他行业标准。

厂界非甲烷总烃无组织排放执行《工业企业挥发性有机物排放标准》（DB35/1782-2018）表3企业边界监控点浓度限值。硫化氢、氨、臭气浓度等执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1二级新建项目厂界标准值。厂区内VOCs无组织排放执行《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB37822-2019）表A.1特别排放限值。

2.水污染物排放执行标准。项目废水排放从严执行泉惠石化园区污水处理厂设计进水水质及《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）表1间接排放限值指标要求。

3.噪声排放执行标准。施工期噪声执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（GB12523-2011），运营期厂界噪声排放执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。

三、项目主要污染物排放总量控制指标

（一）《报告书》核定的污染物新增排放总量为：

废水量≤0.73万吨/年，COD≤0.44吨/年，氨氮≤0.11吨/年，NOx≤0.04吨/年。

你公司应按照闽环发〔2018〕26号文件要求及承诺，在按规定程序依法取得排污权指标并申领排污许可证前，项目不得投入生产。

（二）项目新增VOCs排放量0.056吨/年，在惠安区域内执行1.2倍量削减替代（即0.0672吨/年）。

四、根据《报告书》结论，项目卫生防护距离为车间一外延100m、车间二外延50m、车间三外延100m形成的包络区域。你公司应协助地方政府做好防护距离规划控制工作，防护距离内不得建设居住区、医院、学校等环境保护目标。

五、项目应按《报告书》提出的环保对策措施和批复要求，做好各项生态防范和污染防治工作，严格执行配套的环保设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环保“三同时”制度。

（一）委托开展项目施工期环境监理工作，定期向365防伪查询系统_bet3365标准版_365bet大陆网站惠安生态环境局提交工程环境监理报告。

（二）在项目投入生产并产生实际排污行为之前，应认真梳理并确认各项环境保护措施落实，依法申领排污许可证，按证排污。

（三）项目竣工后，你公司应按照国务院生态环境行政主管部门规定的标准和程序，依法组织开展竣工环境保护验收。

（四）项目的环境影响评价报告书经批准后，项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的，应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。

请365防伪查询系统_bet3365标准版_365bet大陆网站惠安生态环境局负责项目日常环境监督管理工作，365防伪查询系统_bet3365标准版_365bet大陆网站生态环境保护综合执法支队按全链条环境监管要求，做好该项目环保“三同时”监督检查。请你单位在收到批复后一个月内将经批复的环境影响报告书报365防伪查询系统_bet3365标准版_365bet大陆网站惠安生态环境局，并自觉接受各级生态环境主管部门的日常监督检查。

365防伪查询系统_bet3365标准版_365bet大陆网站生态环境局

2023年1月16日

（此件主动公开）